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水下能譜儀和波譜儀有什么區(qū)別?

更新時(shí)間:2022-10-25      點(diǎn)擊次數(shù):1694
  水下能譜儀是一種分析物質(zhì)元素的儀器,常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用,在真空室下用電子束轟擊樣品表面,激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線,根據(jù)特征x射線的波長(zhǎng),定性與半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供樣品表面之微區(qū)定性或半定量之成份元素分析,以及特定區(qū)域之point、linescan、mapping分析。
 
  水下能譜儀能夠分析原子序數(shù)大于5的元素,波譜儀可以分析原子序數(shù)從4~92之間的所有元素;EDS的分析方式有點(diǎn)分析、線分析和面分析;點(diǎn)分析得到一點(diǎn)的所有元素;線分析每次對(duì)的一條線做一種元素分析,多次掃描得到所有元素的線分布;面分析對(duì)一個(gè)面內(nèi)的所有元素分析,測(cè)得元素含量是測(cè)量面范圍的平均值。
 
  當(dāng)X射線光子進(jìn)入檢測(cè)器后,在Si(Li)晶體內(nèi)激發(fā)出一定數(shù)目的電子空穴對(duì)。產(chǎn)生一個(gè)空穴對(duì)的平均能量ε是一定的(在低溫下平均為3.8ev),而由一個(gè)X射線光子造成的空穴對(duì)的數(shù)目為N=△E/ε,因此,入射X射線光子的能量越高,N就越大。
 
  利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對(duì),經(jīng)過(guò)前置放大器轉(zhuǎn)換成電流脈沖,電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經(jīng)過(guò)主放大器轉(zhuǎn)換成電壓脈沖進(jìn)入多道脈沖高度分析器,脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進(jìn)行計(jì)數(shù),這樣就可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜。
 
  而波譜儀是利用波譜法對(duì)物質(zhì)的成分和結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析的儀器,包括X射線波譜儀,核磁共振波譜儀等。波譜儀的優(yōu)點(diǎn)是波長(zhǎng)分辨率高,但由于結(jié)構(gòu)特點(diǎn),波譜儀想要有足夠的色散率,其聚焦圓的半徑就要足夠大,而這會(huì)導(dǎo)致X射線光量子的收集率降低。
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